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钛合电子:溅射薄膜压力传感器的优势
作者:www.wornmyway.com来源:本站时间:2017/7/25 11:05:07

       现在市面上的常用的压力传感器有很多种,根据压力敏感部件的不同,有溅射薄膜压力传感器、应变式压力传感器、扩散硅压力传感器、陶瓷压力传感器等几个类型,这篇文章就简单谈谈溅射薄膜压力传感器相对于其他几个类型传感器所具有的优势。

       首先,我们来了解一下溅射薄膜压力传感器的工作原理:在高真空度中,利用磁控技术,将绝缘材料、电阻材料以分子形式淀积在不锈钢弹性膜片上,形成分子键合的绝缘材料薄膜和电阻材料薄膜,并与弹性不锈钢膜片融为一体,再经过光刻、调阻、温度补偿等工序,在弹性不锈钢膜片上形成牢固而稳定的惠斯登电桥,当被测介质压力作用于弹性不锈钢膜片时,惠斯登电桥则产生与压力成正比的电输出信号,将信号经过放大、调节等处理,再配以适当的结构,就成为各个应用领域的压力传感器和变送器。

       相对于其他类型的压力传感器,溅射型压力传感器的一个突出优势就是适应的温度范围更加广,钛合电子的溅射薄膜压力传感器最低温度可以应用在液氮测量中,温度低至-196;而最高温度可以到200,直接测量高温介质。同时,溅射薄膜压力传感器的温度特性更好,零点温飘小于0.005%FS/℃,远好于扩散硅压力传感器等其他类型。另一个突出优势就是溅射薄膜压力传感器的量程范围比扩散硅的也更宽泛,可以做到300MPa。因此,溅射薄膜压力传感器能够应用在石油、化工、实验、机械等各行各业。

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